SI 500ALE系统
SI 500ALE系统
作为SI 500的延伸，SI 500 ALE在低工作压力和低ICP功率下提供稳定等离子体，实现低损伤蚀刻并实现精确射频控制。
主要特点与优势：
利用PTSA源实现精确的低离子能量/离子偏置控制
动态温度与背面冷却控制
原位监测与高效气体处理
SI 500 ALE 设计注重最大灵活性和模块化。SI 500 ALE系统支持对先进半导体和纳米技术应用至关重要的多种材料的加工。这些包括但不限于III–V和II–VI化合物半导体（如GaAs、InP、AlGaN、GaN和InSb）、介质、硅基材料（Si、SiC）、石英、玻璃和金属。