盒式装载紫外线臭氧清洗设备 UV-300HC
盒式装载紫外线臭氧清洗设备 UV-300HC
双盒式生产系统
概要
UV-300HC是一款高性能的盒式装载UV臭氧清洗机，用于生产。这个行业领先的系统有2个装载盒，可以达到200-300nm/min的高灰化率。该系统利用紫外线照射、高浓度臭氧和可控阶段加热的独特组合，温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体（GaN、SiC、GaAs和InP）、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。
主要特点和优点
最大加工尺寸为ø240 mm (ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)
200 - 300 nm/min的高灰化率。
加热阶段加快了清洗速度，实现了宽广的工艺温度范围。
通过调整平台和石英扩散板之间的间隙，可以提高基板的均匀性。
紧凑，使用最小的洁净室空间
简单，在大气压下操作--不需要真空系统。
柔软、完全干燥的工艺不会对基材造成电损伤。
内置臭氧催化剂装置，可将废气中的臭氧浓度降低到安全水平。