Samco 莎姆克

RIE 等离子刻蚀系统 RIE10NR

新型低成本且高性能的

概要

RIE10NR 是一款全新的低成本、高性能全自动反应离子刻蚀设备，能够满足无腐蚀性气体化学工艺下严苛的工艺需求。搭载触控工控屏幕，为参数调控与数据存储提供便捷的人机交互界面。该设备可精准管控侧壁形貌，实现不同材料之间较高的刻蚀选择比。本机造型精致小巧，RIE10NR 占用的洁净室空间很小。

主要特点和优点：

可加工工件直径最大至 220 毫米（3 英寸 ×5、4 英寸 ×3、8 英寸 ×1）高选择性各向异性蚀刻可满足严苛的工艺需求全自动 “一键式” 操作，同时支持完整手动操控搭载触控电脑显示屏，拥有便于操作人员使用的参数调控与存储界面自带自动压力控制系统，不受气体流量干扰，精准管控工艺压力干式真空泵与设备布局便于开展维护工作该设备性能稳定耐用，全球装机总量已超 400 台。