紫外线臭氧清洗机 UV-300H
紫外线臭氧清洗机 UV-300H
200 - 300 nm/min的高灰化率。
概要
UV-300H是一款高性能的紧凑型紫外线臭氧清洗机。通过滑动抽屉将基材装入系统中。紫外线照射、高浓度臭氧和阶段性加热的独特组合，可温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体（GaN、SiC、GaAs、InP）、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。
主要特点和优点
最大加工尺寸为ø273 mm。
200 - 300 nm/min的高灰化率。
加热阶段加快了清洗速度，实现了宽广的工艺温度范围。
通过调整平台和石英扩散板之间的间隙，可以提高基板的均匀性。
紧凑，使用最小的洁净室空间
简单，在大气压下操作--不需要真空系统。
柔软、完全干燥的工艺不会对基材造成电损伤。
抽屉联锁保证了当抽屉打开时系统无法工作。
内置臭氧催化剂装置，可将废气中的臭氧浓度降低到安全水平。