Oxford Instruments 牛津仪器

大面积刻蚀与沉积的量产型解决方案

主要特点：

1. 更大的批量生产能力

2. 高产量

3. 更稳定的器件质量

4. 低购置成本

5. 提供单晶圆传送腔室或者多至三个腔室的集群式配置

6. 标准的真空传送腔室，具有直开式和集群式选项

7. 出色的正常运转时间

8. 高质量器件性能和良率