光罩调谐解
光罩调谐解
蔡司财富系统超越平版印刷的界限
晶圆厂高度依赖可预测性和信誉。实现高产量对于说服客户相信晶圆厂的能力至关重要。任何降低良率的工艺波动都会显著削弱客户对晶圆厂能力和可靠性的信任。蔡司通过改进场内临界尺寸均匀性（CDU）和改进晶圆产品覆盖层（OPO）提供了一种创新的解决方案，防止了行程偏差。
1.工艺缺陷（DUV）
2.改进晶圆产品覆盖（DUV）
3.减少混搭叠加（EUV）
光罩调谐解
蔡司财富系统超越平版印刷的界限
晶圆厂高度依赖可预测性和信誉。实现高产量对于说服客户相信晶圆厂的能力至关重要。任何降低良率的工艺波动都会显著削弱客户对晶圆厂能力和可靠性的信任。蔡司通过改进场内临界尺寸均匀性（CDU）和改进晶圆产品覆盖层（OPO）提供了一种创新的解决方案，防止了行程偏差。
1.工艺缺陷（DUV）
2.改进晶圆产品覆盖（DUV）
3.减少混搭叠加（EUV）