半导体晶圆解决方案(SFS)
半导体晶圆解决方案(SFS)
加速过程晶圆制造解决方案应对下一代半导体挑战
芯片和芯片组的新设计、复杂度提升、新材料和越来越小的半导体结构:蔡司半导体晶圆解决方案(SFS)提供检测、计量、缺陷审查和晶圆形状控制解决方案,支持逻辑芯片和存储芯片的先进制造以及先进封装,满足日益增长的需求。
1.蔡司NLX
2.蔡司沙丘
3.三维计量与检查工作站
4.蔡司多显微镜
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