SMD-200/HP-200 duo 组合系统
SMD-200/HP-200 duo 组合系统
显影和烘烤的完美搭档
SMD-200/HP-200 duo 或 SMD-200-E/HP-200 duo 将显影机与加热板集成在一个紧凑柜体中。用于清洗、显影或刻蚀和烘烤最大 8″（200 mm）晶圆。
SMD-200 性能参数
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转速范围 |
0 至 3,000 rpm ±1 rpm |
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喷臂速度 |
10 至 100 mm/秒 |
HP-200 性能参数
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温度范围 |
室温至 250°C |
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温度精度 |
±0.6°C（100°C 时） |