ROBO 机器人模块
ROBO 机器人模块
ROBO 模块可将加热板与旋涂机、喷涂机或显影机灵活组合。所有模块均可在手动或自动模式下运行。
基本配置特性：
灵活设计，可组合机器人模块与先进工艺仪器
所有模块支持手动或自动操作
高度灵活的定制系统配置
可靠的工艺仪器，维护方便，停机时间短
处理 3″, 4″, 6″, 8″ 至 12″ 晶圆
中央 6 轴洁净室认证机器人，带末端执行器
机械预对准站
载体站（最多 2 个），可适配不同卡匣类型
PolyScope 图形用户界面，12″ 触摸屏
紧凑设计，占地面积小，易于清洁
可选功能：
可配备最多三个加热板