SM-200/HP-200 duo 组合系统
SM-200/HP-200 duo 组合系统
涂覆和烘烤的完美搭档
SM-200 配备 RCCT 系统的半自动旋涂 + HP-200 高精度加热板，适用于最大 200 mm 晶圆。
SM-200 性能参数
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转速范围 |
1 至 6,000 rpm ±1 rpm |
HP-200 性能参数
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温度范围 |
室温至 250°C |
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温度精度 |
±0.6°C（100°C 时） |
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针圆直径 |
45 – 192 mm（2 – 8″） |