SMD-200 / SMD-200-E 显影机
SMD-200 / SMD-200-E 显影机
高工艺性能的清洗、显影或刻蚀
SMD-200 处理清洗和显影；SMD-200-E 还额外处理刻蚀。两款仪器均设计用于处理最大 8″（200 mm）晶圆或最大 6 × 6″ 基板。工艺腔直径最大 Ø 212 mm。
提供移动柜体型和台式安装型。
基本配置特性
可编程 50 个程序，每个含 24 段
触摸屏工艺配置
电动喷臂，带动态和静态功能
含一条显影管路和 2 升介质罐
DI 水冲洗和 N₂ 干燥集成在喷臂上
工艺杯内喷嘴用于背面冲洗
可选旋转方向（CW/CCW）
机械基板固定