SAWATEC

SMD-300 / SMD-300-E 显影机

高工艺性能的清洗、显影或刻蚀

SMD-300/SMD-300-E 设计用于处理最大 12″（300 mm）晶圆或 8 × 8″ 基板。工艺腔直径最大 Ø 312 mm。