iSPRAY-300喷涂机
iSPRAY-300喷涂机
3D 微结构均匀涂覆
结合低粘度光刻胶（如 Shipley 1813、AZ 4999、AZ 9260、TI Spray 等），工艺优化的喷嘴产生极细微液滴。喷涂通过封闭工艺腔内的环形喷涂图案进行，确保整个基板表面的均匀涂覆和高重复性。可处理圆形和方形基板，一次最多可涂覆 8 片晶圆。
设计用于最大直径 300 mm 晶圆或 12 × 12 英寸基板。
基本配置特性：
快速启动功能
触摸屏工艺配置
工艺参数：喷涂图案、喷臂速度、喷嘴距离、喷束锥形、喷涂层数
电动喷臂，x/y 轴方向可选速度
自动喷嘴距离调节（z 轴升降）
可调喷嘴，恒定喷涂压力和自动清洗功能
可选功能
多种喷嘴规格 Micro 3/3、3/4、3/5
可加热卡盘，最高 150°C，加热面 Ø 300 mm
第二喷嘴，独立光刻胶进料
程控风机过滤单元（FFU）