SmartView® NT 通用自动保证对准系统
SmartView® NT
通用自动保证对准系统
全自动键合比对系统，采用专有方法实现微米级面对晶圆比对的通用比对
SmartView NT自动键合对齐系统用于通用对齐，提供了一种专有的方法，实现微米级的晶圆级对齐。这种对准技术对于在多片晶圆堆栈中实现前沿技术所需精度至关重要。该工具非常适合用于三维互连的晶圆堆叠、晶圆级封装以及大批量MEMS器件等应用。
特色：
适用于自动化和集成EVG粘接系统（EVG560、GEMINI），配置为200毫米和300毫米。®®
通用键对准器（面对面、背面、红外和透明对齐）
没有Z轴运动，也不需要重新对焦
基于Windows®的用户界面
在装入粘结室前，先对齐并夹紧
手动或全自动配置（例如与GEMINI集成®)
选项
可与EVG500系列晶圆键合系统、EVG300系列清洗系统和EVG810 LT等离子体系统结合，实现全自动晶圆对晶圆对齐操作，实现磁带对盒式磁带操作®®®