SENTECH 森泰克

等离子体蚀刻与沉积的簇状配置

SENTECH集群工具包括等离子体刻蚀和/或沉积模块、转移室和真空载荷锁或磁带站，以实现晶圆操作的灵活性。

主要特点与优势：

高产率和高通量

灵活的工艺配置

灵活载波处理

SENTECH集群系统包括等离子体蚀刻和/或沉积模块、转移室以及真空载荷锁或盒式站。包括搬运机器人在内的转移舱有三到六个接口可选。最多可使用两个磁带站以提升吞吐量。