西拉约皮尔德系统
西拉约皮尔德系统
SENTECH SILAYO 是一种用于光学涂层和大型基板的等离子体增强原子层沉积（PEALD）系统
主要特点与优势：
PEALD最佳薄膜均匀性<1%
样品直径可达330毫米，高度可达100毫米
利用射频偏置进行应力控制
SENTECH SILAYO PEALD 系统扩展了 SENTECH ALD 和 PEALD 产品组合，适用于 330 毫米基底和三维基底的沉积。为了确保层厚的极佳均匀性和一致性，PEALD用于沉积光学薄膜，如防反射涂层或光学滤光系统。SENTECH SILAYO利用SENTECH平面三螺旋天线（PTSA）感应耦合等离子体（ICP）源的优势进行PEALD处理。