AL实时监控器激光椭圆仪
AL实时监控器激光椭圆仪
SENTECH AL 实时监测仪是一款经过验证的光学诊断工具，能够实现单次 ALD 和 ALE 循环的超高分辨率工艺开发。
主要特点与优势
快速工艺开发与优化
保存前身
前驱体控制
SENTECH AL实时监控器用于快速工艺开发，是一种经过验证的光学诊断工具，能够实现单次ALD和ALE循环的超高分辨率。SENTECH AL实时监测器的主要应用包括分析薄膜性质（生长速率、厚度、折射率及蚀刻速率），在不破坏真空的情况下，在短时间内开发新工艺，以及实时研究ALD和ALE循环中的反应机制。