Samco 莎姆克

ø300 毫米反应离子刻蚀设备 RIE300NR

最大可达 300 毫米（12 英寸）

概要

RIE300NR 型反应离子刻蚀机十分适合加工直径 300 毫米晶圆以及多片规格晶圆（3 英寸 ×12 片、4 英寸 ×8 片等），加工均匀性优异。该设备在设计上节省厂房占地、提升产能、提高设备可用时长；依托稳定可靠的硬件与便捷的维护方式，降低设备整体使用成本。

主要特点和优点：

可加工工件最大直径 350 毫米（3 英寸 ×12 片、4 英寸 ×8 片、12 英寸 ×1 片）人性化触控显示屏操作界面全自动一键式运行，同时支持完整手动操控经过优化的喷淋头，保障工艺气体分布均匀紧凑型供气箱能够缩短气体停留时长搭配涡轮分子泵的对称式抽气结构，实现高效气流输送自动压力控制系统，可不受气体流量影响、精准管控工艺压力干式真空泵与整机布局便于开展维护工作