高解析度FEB测量装置CS5000
高解析度FEB测量装置CS5000
适用于对应4、6、8英寸晶圆的测量SEM
搭载日立先进技术的CD-SEM CS5000兼容4、6、8英寸晶圆的CD测量，提供高解析度的SEM成像，更高的测量精度和快速自动化操作，将有助于提高客户现有生产线的生产力。此外用户可以通过简单的操作处理自动搬送三种不同尺寸的晶圆*。除了传统的硅基晶圆以外，对于SiC（碳化硅），GaN（氮化镓），Glass（玻璃）等材质晶圆也有丰富的对应实绩。
特长:
1. 考虑了更换现有设备或共同使用情况下的设备占地面积和GUI*1
2. 通过先进设备的研发经验，搭载了高精度测量技术和最新的计量应用。
3. 通过对晶圆搬运系统的大幅改进，提高了连续测量时的处理能力
4. 采用新电子光学条件，支持前代设备无法测量的绝缘体晶圆
5. 采用专用夹具，支持4英寸、6英寸和8英寸多种晶圆尺寸