SM-150 旋涂机
手动涂覆的理想选择
SM-150 是手动涂覆薄层的最佳选择。适用于最大 150 mm（6 英寸）晶圆或 127 × 127 mm 基板。工艺腔设计直径最大 176 mm。
提供便携式台面型和台式安装型。
基本配置特性：
可编程 50 个程序，每个含 24 段
快速启动功能
触摸屏工艺配置
工艺参数：转速、加速度、段时间、点胶功能
可选旋转方向（CW/CCW）
手动装卸基板
真空固定含真空保护
手动盖板，带气流入口和传感器锁定控制
可选功能：
半自动卡式点胶系统，50 ml 玻璃卡式
N₂ 吹扫，防止氧化
脚踏启停开关
阳极氧化铝或不锈钢涂胶杯
晶圆对准工具 1″ – 12″
铝制涂胶杯保护件