EVG

赫拉克勒斯® 0分

全集成SmartNIL®紫外无光系统

EVG的HERCULES® NIL产品家族

HERCULES^® NIL 全集成 SmartNIL^® UV-NIL 系统，最高可达 200 毫米

大力士^® NIL全模块化集成SmartNIL^® UV-NIL系统，最大可达300毫米

HERCULES® NIL 全集成 SmartNIL® UV-NIL 系统，最高可达 200 毫米

集成平台，支持试线和大规模生产，支持最高200毫米的SmartNIL®

HERCULES NIL 200mm 是大规模制造中纳米印刻光刻的行业标准。基于模块化平台，HERCULES NIL结合了EVG专有的SmartNIL印记技术与清洗、抗阻涂层和烘焙预处理步骤。该配置可调谐，以低成本提供最佳吞吐量和低占地。Hercules NIL配备了最先进的处理系统，实现在200毫米平台上的高效处理。

为了优化工艺链，多用途软印章的制造——这是大批量生产的基石——被纳入HERCULES NIL中，无需额外印记印章制造设备。该系统支持多种设备和应用的生产，包括用于增强现实（AR/VR）头显的光学器件、3D传感器、生物医学设备、纳米光子学、等离激元和超表面。通过为大规模制造提供完整的NIL解决方案，HERCULES NIL加强了EVG在全区域NIL设备解决方案中的领导地位。

特色：

经过大量验证的印刷技术，具有卓越的复制保真度

结合了预处理（清洁/涂层/烘焙/冷藏）和SmartNIL®

最多可实现4个预处理模块

晶圆尺寸可达200毫米

全自动印印和受控低力脱落，实现最大的工作邮票重复使用性

完全配方控制的加工

结构的批量生产，尺寸可达40纳米*及以下

可选夹头带加热功能

可选迷你环境

包括工作印章制造能力

由于高功率光源，固化时间最快

优化模块化平台以实现高吞吐量