SRF系列射频电源
SRF系列射频电源采用数模混合控制及高精测量技术，固定频率输出，输出功率具备宽范围、高精度、高可靠性及高稳定性等特点；标配CEX同步，可选配单级脉冲功能，满足多种工艺需求，辅助完成更高的工艺稳定性和控制。可广泛应用于光伏、面板、半导体行业、科研、制造业等领域，适用ETCH、PECVD等工艺设备。
主要特点：
1. 数模混合控制架构
2. 灵活的控制模式配置
3. 高精度测量系统
4. 快速CEX相位同步
5. 丰富的人机交互接口
6. 高可靠性射频输出