EM-AFM 兼容SEM的原子力显微镜
EM-AFM
兼容SEM的原子力显微镜
TNI EM-AFM 是一种高性能的 AFM，适用于 SEM 或常光环境内。其最先进的低功耗设计实现了高速、高分辨率扫描，且热漂移极小。
特点：
兼容SEM
可以安装在大多数SEM中。可根据要求提供兼容装载锁的版本。
全编码运动
集成亚纳米分辨率编码器，实现高精度测量。
地形扫描
创新的低功耗设计实现了高速、高分辨率的真空扫描。
纳米缩进
全编码运动提供了高精度的纳米机械测量。
快速设置
几秒钟内就能安装或移除系统。不需要专门的SEM。
附加元件
不同应用用不同的悬臂。
软件功能：
自动编码器校准
自动悬臂校准
集中SEM和AFM控制
直观的屏幕点击移动
数据分析工具
高度可编程