EVG®7200 自动智能NIL®紫外纳米印刻系统
EVG®7200
自动智能NIL®紫外纳米印刻系统
全场紫外纳米印影系统，最大200毫米，采用柔性冲印，采用EVG专有的SmartNIL®技术
该EVG7200系统利用EVG创新的SmartNIL技术，实现高图案精度和低残余层的微纳米结构制造。可调强度的曝光基于LED灯泡。该系统能够快速凝固多种可紫外线固化材料，从而提升通透率。高良率通过受控且平滑的脱模并辅以力测量来实现。该EVG7200系统能够以无与伦比的通量和低拥有成本在大面积上打印纳米结构，非常适合下一代微流控和光子器件的批量生产，如衍射光学元件（DOE）。
*分辨率取决于流程和模板。
特色：
经过大量验证的印刷技术，具有卓越的复制保真度
专有的SmartNIL®技术，采用多用途聚合物印章技术
集成印刷、紫外线固化、脱模和工作邮票制造
提供手动和自动配置
自动化盒式对盒式磁带处理及半自动化研发模式
基材尺寸从块到200毫米不等
带有加热功能的夹头
可选的顶部对齐
可选迷你环境
所有商业印刷材料的开放平台
从研发到生产的可扩展性
系统外壳以实现最佳工艺稳定性和可靠性